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淺析無塵車間空氣過濾器的使用要求
來源：www.jjwccj.com 發布時間：2019年01月08日
在半導體生產和制藥工業中, 對空氣的潔凈度要求較高。典型的工作環境中, 每立方英尺空氣中含有500000個粒子, 而半導體生產的最新要求是每立方英尺空氣中只有1 個粒子。因此, 工作間需要用經過高效過濾器過濾的潔凈空氣不斷地循環清洗。為保持HEPA 過濾器的潔凈和壽命, 還需要幾段效率較低的預濾器聯合使用。
對于工廠、車間排放的廢氣,要求最嚴格的是毒性。某些重金屬如汞、砷、鉻、鈹等毒性很大, 其排放限制非常嚴格。在空氣毒性方面, 美國和德國已經通過了新的更嚴格的立法。執行新的立法后, 空氣毒性的限制由原來的20mg/m3 (標準) 降低到010004mg/m3 (標準)。為達到這一目標, 工廠需要更先進的過濾器以除去亞微粒子。
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